EdWARDS罗茨泵 EH500

EdWARDS罗茨泵 EH500

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更新日期:2013-11-04

有效期至:2014-02-02

产品品牌：

规格型号：

价格：面议

所在地区 : 上海

产品分类 : 其他

概述

EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。

应用

· 半导体制程

· 真空蒸馏

· 真空包装

· 钢脱气

· 薄膜覆层

· 真空冶金

· 低密度风洞

· 空间模拟

· 真空浸渍

· 油干燥和脱气

· 制药冷冻干燥

· CO₂ 激光

功能和优势

· 适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1 的高抽速的应用场合。

· 它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

· EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：

o 安静的无振动运行。

o 牢靠且防腐蚀。

o 先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

· 防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

· 经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到。

· 轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

· 动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

技术数据

　型号

EH250

EH500

EH1200

EH2600

EH4200

排量（工作容积）

310 m³h^-1 / 185 ft³min^-1

505 m³h^-1 / 300 ft³min^-1

1195 m³h^-1 / 715 ft³min^-1

2590 m³h^-1 / 1525 ft³min^-1

4140 m³h^-1 / 2440 ft³min^-1

使用前级泵时的有效抽速

240 m³h^-1 / 141 ft³min^-1

350 m³h^-1 / 206 ft³min^-1

840 m³h^-1 / 495 ft³min^-1

1750 m³h^-1 / 1031 ft³min^-1

3100 m³h^-1 / 1825 ft³min^-1

泵的压力差

0-180 mbar/0-140 Torr

0-110 mbar/0-83 Torr

0-90 mbar/0-68 Torr

0-80 mbar/0-60 Torr

0-60 mbar / 0-45 Torr

进气口连接

ISO63

ISO100

ISO160

ISO250

出口连接

ISO40

ISO63

ISO100

转速

0-2900 rpm

连续进气口工作压力

0-1000 mbar/0-760 Torr

出口压力

1000 mbar/760 Torr

推荐的前级泵

GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80

GV80，E2M80

GV160、GV250、
E2M80、E2M175

GV250、GV400、
E2M175、E2M275

GV400、E2M275

电机功率

碳氢化合物

2.2 kW / 3 hp

2.2 kW/3 hp

3 kW/4 hp

11 kW/15 hp

PFPE

1.5 kW / 2 hp

1.5 kW/2 hp

3 kW/4 hp

7.5 kW/10 hp

11 kW/15 hp

ATEX

2.2 kW

3 kW

11 kW

防爆

3 hp

4 hp

15 hp

环境温度范围

工作

5 至 40°C/40 至 104°F

存储

-10 至 80°C/14 至 176°F

工作湿度

90% RH

推荐用油

Ultragrade 20

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