供应集成电路照排平台高精度定位传感器 
集成电路照排平台高精度定位电涡流位移传感器
在关键的Z轴高度调整中，支撑圆晶片的平台必须非常精确地处于焦点平面（次原子级）。凯盟系统精确测量Z轴平台的位置（如图）并输出模拟信号（或可选的数字接口）。此传感器的高精度、重复性和分辨率可让用户在平台定位和聚焦上形成闭环。用凯盟公司15N传感器头和前置器SMU9000组成。
主要指标：
测量对象：铝
量程起点：0.25mm
量程：25µm
非线性：±1％
分辨率：<25x10^-11M
灵敏度：0.4V/µm
电源：+12～+30V，15MA/每通道
频响：0－10KHZ
输出：0-10V
温漂：<0.5µm/℃
欲了解更多关于产品的信息，请访问真尚有公司网站www.51sensors.com
免责声明：以上所展示的信息由会员自行提供，内容的真实性、准确性和合法性 由发布会员负责。中国路面机械网对此不承担任何责任。
友情提醒：为规避购买风险，建议您在购买相关产品前务必确认供应商资质（营业执照等证件）及产品质量。我们原则上建议您选择经过中国路面机械网认证的 守信通 会员
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产品品牌: 厦工
产品分类: 工业车辆
规格型号: WLV 1
销售价格: 888888元/
工作时数: 88888小时
出厂年份: 2002年
外观: 7成新
产地:
京公网安备 11010502031237号