供应水环真空泵

型号

ZS、ZZS-600

ZS、ZZS-800

ZS、ZZS-1000

ZS、ZZS-1200

ZS、ZZS-1380

结构形式

箱式前开门后置抽气系统

真空室
（宽×深×高）mm

650×600×700

800×800×800

1000×1000×1200

ф1200×1200

ф1380×1250

极限压力

5×10^-4Pa

6.7×10^-4Pa

恢复真空时间

从1×10⁵Pa抽至5×10^-3Pa ≤ 20min

电
子
束
蒸
发
源

270Oe型枪

加速电压(KV) 6,10

数量（套）

1

1,根据用户需要可安装2套

坩埚容积

20ml×4槽

22ml×4槽

功率(kW)

6

10

电
阻
蒸
发
源

电阻蒸源

电压（V）5,10

功率（kW）

2.5

2×2.5

2×5

水冷电极数量

2 对（交替蒸发）

2 对（同时蒸发）

工件架类型及尺
（mm）

拱型夹具
ф580

拱型夹具ф740,
星型夹具ф420×3
任选一种

拱型夹具ф950,
星型夹具ф650×3
任选一种

拱型夹具
ф1100

拱型夹具
ф1250

烘

烤

功率(kW)

4.5

9

13.5

温度℃

350 数显自动控温

离子

轰击

电压(V)

3000

电流(mA)

300

真空系统配置

KT-400扩散泵2X-70,2X-4
机械泵

KT-600扩散泵
ZJ-600 罗茨泵
2X-70，2X-15
机械泵

KT-600扩散泵
ZJ-600罗茨泵
H-150，2X-15
机械泵

KT-600 扩散泵
ZJ-600罗茨泵
H-150,2X-15
机械泵

KT-800扩散泵
ZJ-600罗茨泵
H-150,2X-15
机械泵

光学膜控控仪

垂真光路,透、反射控制，波长400nm-700nm

水冷系统

水压(kpa)

约2.5×10²

水温(℃)

＜ 25

压缩空气（kpa）

(4-6)×10²

总功率（kW）

26

36

56

60

65